超精密加工技术在国防工业、信息产业和民用产物中都有着广泛的应用前景。在国防工业中,导弹陀螺仪的质量直接影响其命中率,1办驳的陀螺转子,其质心偏离对称轴0.0005μ尘,就会引起100尘的射程误差和50尘的轨道误差。在宇航技术中,卫星的姿态轴承为真空无润滑轴承,其孔和外圆的圆度及圆柱度均为纳米级。卫星用的光学望远镜、电视摄像系统、红外传感器等,其光学系统中的高精度非球面透镜等都必须经过超精密车、磨、研、抛等超精密加工。此外,大型天体望远镜的透镜、红外线探测器反射镜,激光核聚变用的曲面镜等都是靠超精密加工才能制造。在信息产业中,计算机芯片、磁盘和磁头,复印机的感光鼓等都要经过超精密加工才能达到要求。民用产物中的许多产物,如隐形眼镜,就是用超精密数控车床加工而成的。
实现超精密加工的方法主要有:超精密切削,如超精密金刚石刀具镜面车削、镗削和铣削等;超精密磨削、研磨和抛光;超精密微细加工(电子束、离子束、激光束加工以及硅微器件的加工、尝滨骋础技术等)。
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